探測空間原子氧環(huán)境的鋨膜電阻傳感器技術研究

原子氧密度傳感器可以測量原子氧的通量密度和積分通量.鋨膜電阻是一種小型的、價格低廉的測量軌道原子氧束流密度的傳感器,由于尺寸小、重量輕使其可以用在大部分航天器上,增加了飛行的機會.文章對北京衛(wèi)星環(huán)境研究所采用電鍍法及紫外線光刻和金屬刻蝕微加工技術制備鋨膜電阻的研究情況進行了介紹.

作 者： 劉向鵬 童靖宇 賈錚 姜利祥 李濤   作者單位： 劉向鵬,童靖宇,姜利祥,李濤(北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所,北京,100094)

賈錚(哈爾濱工業(yè)大學,哈爾濱,150001) 

刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(z1)  分類號： V416.5  關鍵詞： 原子氧   鋨膜電阻   傳感器   空間探測  

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