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多孔硅整流特性研究
從多孔硅的最基本的器件結(jié)構(gòu)--金屬/多孔硅/硅入手,研究這種結(jié)構(gòu)的電學(xué)性質(zhì):整流特性,對進(jìn)一步理解和提高多孔硅的電致發(fā)光和多孔硅在其它一些電學(xué)方面的應(yīng)用有著積極的意義.用電化學(xué)腐蝕法制得多孔硅,對多孔硅電化學(xué)氧化和氮?dú)鈿夥障峦嘶?研究這兩種后處理方式對多孔硅整流特性的影響.多孔硅經(jīng)高濃度硫酸電化學(xué)氧化后,整流特性消失;多孔硅經(jīng)氮?dú)鈿夥障峦嘶鸷?整流特性增強(qiáng);分析了相應(yīng)的機(jī)理.
作 者: 彭愛華 PENG Ai-hua 作者單位: 中國石油大學(xué),華東,物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,青島,266555 刊 名: 科學(xué)技術(shù)與工程 ISTIC 英文刊名: SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING 年,卷(期): 2009 9(21) 分類號: O472.4 關(guān)鍵詞: 多孔硅 整流特性 退火【多孔硅整流特性研究】相關(guān)文章:
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