電化學(xué)方法制備Si陣列微孔的工藝研究

對(duì)用電化學(xué)方法制備Si大孔陣列管坑工藝進(jìn)行了初步探索. 通過對(duì)Si在KOH溶液中各向異性濕法蝕刻和在HF酸溶液中的電化學(xué)蝕刻過程中各種參數(shù)的摸索,確定在室溫下制備大孔陣列的最佳配比濃度,蝕刻出符合要求的管坑陣列,為進(jìn)一步制備結(jié)構(gòu)化閃爍屏奠定了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ).

作 者： 薛智浩 孫友梅 常海龍 劉杰 侯明東 姚會(huì)軍 莫丹 陳艷峰 XUE Zhi-hao SUN You-mei CHANG Hai-long LIU Jie HOU Ming-dong YAO Hui-jun MO Dan CHENYan-feng   作者單位： 薛智浩,姚會(huì)軍,莫丹,陳艷峰,XUE Zhi-hao,YAO Hui-jun,MO Dan,CHENYan-feng(中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所,甘肅,蘭州,730000;中國(guó)科學(xué)院研究生院,北京,100049)

孫友梅,常海龍,劉杰,侯明東,SUN You-mei,CHANG Hai-long,LIU Jie,HOU Ming-dong(中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所,甘肅,蘭州,730000) 

刊 名： 原子核物理評(píng)論  ISTIC PKU 英文刊名： NUCLEAR PHYSICS REVIEW  年，卷(期)： 2008 25(3)  分類號(hào)： O646  關(guān)鍵詞： 各向異性蝕刻   微孔陣列   電化學(xué)蝕刻  

【電化學(xué)方法制備Si陣列微孔的工藝研究】相關(guān)文章：

課題研究的方法03-13

(必備)課題研究的方法03-13

課題研究的方法【優(yōu)選】03-13

《焊接工藝—焊接方法與設(shè)備》教案04-25

論文研究方法包括哪些12-17

論文研究方法怎么寫12-17

機(jī)械安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)方法的研究12-04

硬齒面齒輪加工的研究與工藝裝備開題報(bào)告04-27

畢業(yè)論文的研究方法都有哪些12-17

論文質(zhì)化研究方法與特點(diǎn)論文12-07