界面結(jié)合強度激光劃痕測量新方法

薄膜-基體界面結(jié)合性能是直接關(guān)系到膜基體系最終使用性能和可靠性的關(guān)鍵因素和首要指標(biāo).在分析界面結(jié)合強度劃痕試驗法和激光層裂法的研究與應(yīng)用現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,提出了界面結(jié)合強度紅外激光劃痕和遠紫外線激光劃痕測量新方法,并分析了其技術(shù)優(yōu)勢.最后研究了激光劃痕機理和相關(guān)的界面結(jié)合狀態(tài)診析技術(shù).

作 者： 馮愛新 張永康 謝華錕 周明 蔡蘭   作者單位： 馮愛新,張永康,周明,蔡蘭(江蘇大學(xué)機械工程學(xué)院,江蘇,鎮(zhèn)江,212013)

謝華錕(成都工具研究所,四川,成都,610056) 

刊 名： 中國激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2004 31(z1)  分類號： O484  關(guān)鍵詞： 薄膜技術(shù)   界面結(jié)合強度   劃痕試驗法   激光層裂法  

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