EB-PVD法制備微層材料的研究

簡(jiǎn)要介紹了用于電子束物理氣相沉積的設(shè)備及其發(fā)展,闡述了利用該技術(shù)制備微層材料的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)對(duì)制備工藝和相應(yīng)的材料性能作了詳細(xì)的介紹,并指出使用電子束物理氣相沉積技術(shù)制備微層材料具有廣閱的發(fā)展前景.

作 者： 李曉海 陳貴清 韓杰才 孟松鶴 Li Xiaohai Chen Guiqing Han Jiecai Meng Songhe   作者單位： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)復(fù)合材料與結(jié)構(gòu)研究所,哈爾濱,150001  刊 名： 宇航材料工藝  ISTIC PKU 英文刊名： AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2005 35(6)  分類號(hào)： V25  關(guān)鍵詞： 電子束物理氣相沉積   微層材料   直接氣相沉積  

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