定容式流導法微流量校準裝置的設計

定容式流導法微流量校準裝置是氣體微流量的計量標準,由定容式流量計和流導法兩部分組成,定容式流量計用于大流量的測量,流導法用于小流量的測量.定容式流量計有兩種工作模式,可測量流入定容室的氣體流量;也可測量流出定容室的流量.該校準裝置,可采用定容法和流導法對氣體微流量進行校準,校準范圍為(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成標準不確定度為0.56%～1.70%.

作 者： 張滌新 郭美如 趙瀾 趙定眾 Zhang Dixin Guo Meiru Zhao Lan Zhao Dingzhong   作者單位： 蘭州物理研究所,蘭州730000  刊 名： 中國空間科學技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE SPACE SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2006 26(2)  分類號： V4  關鍵詞： 流量計   流量測量   校準   設計  

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